靈巧型勻膠機(jī) 型號(hào)：EZ6
　　EasyCoater 6勻膠機(jī)被設(shè)計(jì)為涂膠處理小碎片至6英寸圓晶尺寸底物，使用工業(yè)級(jí)直流馬達(dá)和單片機(jī)控制，5寸全彩觸屏人機(jī)界面操作，簡(jiǎn)單易用。EZ6勻膠機(jī)在材料、化學(xué)或生物等實(shí)驗(yàn)室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。
　　EZ6勻膠機(jī)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡(jiǎn)單易用，程控操作，且能夠升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠功能，尺寸上可從通用的手套箱過(guò)渡艙內(nèi)進(jìn)出，具有優(yōu)異的性?xún)r(jià)比。亦可提供分體式設(shè)計(jì)，進(jìn)行嵌入式安裝，與手套箱進(jìn)行配合。

產(chǎn)品性能參數(shù)：


支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圓晶）

速度可調(diào)范圍：200-10000rpm
加速度可調(diào)范圍：100-10000rpm/s
轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm 
轉(zhuǎn)速精度：＜±5rpm
可編程10組10步程序 
寬電壓輸入：AC100-230V
產(chǎn)品特性?xún)?yōu)點(diǎn)：
100W 直流無(wú)刷電機(jī)，PLC 控制
5”全彩觸摸屏 
系統(tǒng)中英文可選

帶一只自動(dòng)點(diǎn)膠端口，可升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠功能
HDPE 內(nèi)腔，SUS 外殼，耐溶劑PC 透明蓋 
真空互鎖及蓋子開(kāi)關(guān)互鎖安全功能
產(chǎn)品外型尺寸：358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)